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麒麟9030暗示中芯国际可能无需EUV即可实现 >300 MTr/mm² 的路径
➀ TechInsights对华为Mate 80 Pro Max搭载的麒麟9030芯片进行拆解分析,指出中芯国际“N+3”工艺的晶体管密度确实低于三星和台积电早期的5nm工艺,但其金属间距缩进非常激进;
➁ 尽管存在密度差距,但这种激进的缩进表明中芯国际正在利用多重曝光技术(如SADP/SAQP)来规避缺乏EUV光刻机的限制;
➂ 这些发现暗示,通过进一步的工艺优化,中芯国际有可能仅靠DUV光刻技术实现超过300 MTr/mm²的晶体管密度里程碑。