YMTC Pushes for Domestic Equipment Adoption Amid Profitability Challenges
长江存储在盈利挑战中推动国内设备采用
➀ 长江存储（YMTC）位于中国3D NAND市场的前沿，积极倡导使用国内设备。
➁ YMTC的第三阶段工厂正在努力建立一条完全由国内设备组成的光刻晶圆生产线。
➂ 尽管面临盈利问题，YMTC仍坚定不移地推进设备本地化。
➃ 国内设备集成稳定性不及进口工具，国内工具在超过1,000小时的连续运行后，工艺参数漂移导致国内蚀刻设备的精度偏差率高于进口工具。
➄ 先进工艺需求，如线宽缩放和对齐精度，是国内光刻工具无法满足的，这些工具难以达到300层以上3D NAND生产所需的分辨率和吞吐量。
➅ 国内生产的良率低于使用进口设备的良率，当前良率约为62%，而使用进口设备的良率约为81%，这使得实现成本优势变得困难。
