Focused Ion Beam (FIB)
聚焦离子束 (FIB) 技术:跨越先进制程挑战的关键
➀ 聚焦离子束 (FIB) 技术虽在旧制程节点上早有应用,但随着先进制程(如28nm及以下)的开发,其凭借精准的材料去除和成像能力,正展现出不可或缺的价值。
➁ 在设备上市成本动辄超过1000万美元的时期,FIB 为失效分析、电路编辑和原型验证提供了一种高性价比的解决方案,极大降低了研发的财务风险。
➂ 面对日益复杂的制造工艺,FIB 成为工程师可视化解析内部结构并进行微米级修改的关键工具,无需昂贵的光罩即可确保更高的良率和可靠性。