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➀ 美国政府向Gelsinger支持的EUV光源初创公司xLight提供高达1.5亿美元的《芯片与科学法案》联邦激励资金;

➁ xLight计划开发基于粒子加速器的全新电子光源,用于先进光刻设备;

➂ 这是特朗普政府颁发的首个《芯片与科学法案》拨款。

EUVxLight