➀ 中芯国际正在测试上海宇亮盛自主研发的浸没式DUV光刻机，预计至少需两年时间投入芯片生产；

➁ 宇亮盛为深圳思凯来子公司，同时推进代号“珠穆朗玛峰”的EUV光刻机研发项目；

➂ 国内DUV布局还包括上海微电子装备（SMEE）的28nm制程设备，以及美方禁令前采购的ASML光刻机存量。