Digital micromirror with 8.9 million pixels for lithography
面向光刻应用的890万像素数字微镜器件
➀ 德州仪器发布DLP991UUV数字微镜器件,拥有890万像素和5.4微米镜间距,专为先进封装的无掩模光刻技术设计;
➁ 该器件支持405nm紫外光,可处理22.5W/cm²的照射强度,实现亚微米级分辨率,并在343-410nm波段内拥有91%的平均衍射效率;
➂ 采用1英寸CMOS阵列和12组高速串行数据接口,需多电压供电,延续了此前针对4K DLP设备的控制芯片技术路线。