HBA lithography tool ‘outstrips electron beam capabilities’
HBA光刻工具‘超越电子束能力’
➀ SecureFoundry推出超光束阵列（HBA）光刻系统，配备65,000个独立控制光束，可在15分钟内完成100毫米晶圆图案化，支持AI芯片原型设计和晶圆级集成；
➁ 该系统支持22nm工艺且无曝光场限制，面向中小批量生产，旨在降低研发与IP商业化成本；
➂ 首席执行官Lex Keen谈及美国《芯片法案》资金转向，强调从大型晶圆厂补贴回归支持中小企业的创新激励措施。