➀ PI推出A-361无轴承XY旋转平台,采用紧凑型3轴纳米定位设计,高度仅39.5毫米,运动平台直径200毫米,支持X/Y轴5毫米平移及Z轴2°旋转;
➁ 基于无摩擦气浮轴承和音圈直驱技术,实现高稳定性、免维护运行,并配备真空吸盘以固定晶圆等精密基板;
➂ 适用于半导体检测、光子学对准、微LED制造等领域,兼容无尘室环境,可集成多轴系统以完成高精度对准任务。
➀ PI推出A-361无轴承XY旋转平台,采用紧凑型3轴纳米定位设计,高度仅39.5毫米,运动平台直径200毫米,支持X/Y轴5毫米平移及Z轴2°旋转;
➁ 基于无摩擦气浮轴承和音圈直驱技术,实现高稳定性、免维护运行,并配备真空吸盘以固定晶圆等精密基板;
➂ 适用于半导体检测、光子学对准、微LED制造等领域,兼容无尘室环境,可集成多轴系统以完成高精度对准任务。