➀ 彼得·蒂尔支持的初创公司Substrate募资1亿美元，拟通过X射线光刻技术挑战ASML；

➁ 其基于粒子加速器的X射线光刻技术声称成本远低于ASML的EUV工艺，精度达2nm；

➂ 团队成员包括台积电、应用材料等企业及美国国家实验室专家，并获得In-Q-Tel等与国防、情报机构相关的投资方支持。