➀ 比利时Imec实验室使用EUV光刻技术在硅氮化物膜中制作了纳米孔，用于生物传感应用；

➁ 这些纳米孔可在液体中浸没以检测生物分子；

➂ 该研究在IEDM会议上发布，并首次由Electronics Weekly报道。