➀ 高数值孔径EUV光刻原本是半导体制造的下一步。

➁ 但其昂贵的扫描仪、较小的曝光区域和复杂的经济问题引起了怀疑。

➂ 近期英特尔、三星和台积电的公告表明，高数值孔径技术仍具有可行性。

➃ 英特尔已经出货了使用高数值孔径技术的产品，台积电也宣布了采用该技术的计划。

➄ 该技术通过生产经验获得了信誉，但广泛采用仍需要持续的经济价值。